各材質坩堝
作為電子束蒸鍍的靶材載具，可針對不同熔點之靶材，選擇坩堝的材質。
尺寸亦能視需求客製。
在確認坩堝尺寸的時候，請量上圓及下圓外徑、厚度及高度(如上圖示)，厚度的部分若是有直角狀的就量最外徑減去最內徑。
尺寸亦能視需求客製。
- 鉬坩堝: 耐溫度2623℃，具有高拉伸強度及高熔點的特性，常使用於氧化物材料及金屬材料。
- 鎢坩堝: 耐溫度3422℃，具有高熔點特性，常使用於氧化物材料及金屬材料。
- 無氧銅坩堝: 耐溫度1083℃，具有高導熱性、導電性及高純度特性。
- 石墨坩堝: 耐溫度3652℃，具有耐強酸、耐火、良好的導電性和導熱性。
- 氮化硼坩堝: 硬度僅次於金剛石，但耐高溫性優於金剛石，為2700℃。六方氮化硼的結構類似石墨，是一種導熱性最好的絕緣體。
在確認坩堝尺寸的時候，請量上圓及下圓外徑、厚度及高度(如上圖示)，厚度的部分若是有直角狀的就量最外徑減去最內徑。
