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鍍膜機台配件及耗材3

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各形式鎢舟

鎢是一種非常硬、鋼灰色至白色的過度金屬,含有鎢的礦物有黑鎢礦和白鎢礦...等。
鎢的物理特徵非常強,尤其是熔點高達
3422℃,是所有純金屬中最高的。純鎢主要用在電器和電子設備,它的許多化合物和合金也有很多其它用途。

 

用於熱阻式蒸鍍的加熱器或乘載器依形狀可分為絲型(filament)、舟型、籃型與坩堝型,材質包括鎢、鉬、鉭、石墨及氧化鋁…等,主要取決待鍍材料的反應特性、材料裝填需求…等。
 

鎢舟便是作為蒸鍍材料的載具,將裝有材料的鎢舟放置於電極中間形成導電,通電後使鎢舟發熱,將材料熔化至蒸發,氣態的材料分子因加溫而加速,在基板上凝結沉積成薄膜。(如下圖示)

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為確保鎢舟的使用壽命及良好的鍍膜成果,待鍍材料的熔點不可以超過鎢舟,建議以1500℃左右為佳。由於氧化物材料的熔點普遍較高,因此,鎢舟大多是用於金屬材料的蒸鍍。

鎢舟有許多尺寸,您可以依照製程的需要去挑選合適的鎢舟。(例如:215,2為厚度
0.2mm;15為寬度15mm,長度一般是100mm。)

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我們的模具為全台最齊全,可提供全尺寸評估製作,且專業製作超大容量的鎢舟,對於您的實驗和製作需求均可客製化製作。

石英加熱燈管

不同形式之石英加熱燈管,可依您的需求挑選。